СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1. Обзор литературы.
1.1 Проблемы и перспективы использования кремния в электронных приборах
1.2 Закономерности формирования и электронноэнергетическое строение нанокластеров и нанокристаллов кремния.
1.3 Теоретические основы методов исследования электронной структуры тврдых тел с помощью рентгеновского излучения.
1.3.1 Метод ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии
1.3.2 Спектроскопия ближней тонкой структуры рентгеновского поглощения.
1.3.3 Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
1.4 Выводы и формулирование задач исследований
ГЛАВА 2. Методика исследования образцов
2.1 Методика получения наноиорошков кремния.
2.2 Получение пленок 8Ю2, содержащих нанокристаллы кремния
2.3 Методы исследования образцов
ГЛАВА 3. Фазовый состав и оптические свойства нанопорошков кремния,
полученных распылением мощным электронным пучком.
ГЛАВА 4. Исследование электронноэнергетического строения нанокластеров 8 в БОг, полученных термическим отжигом субоксида
кремния.
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922