СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
Г лава 1. ПОВЕРХНОСТЬ КРЕМНИЯ СТРУКТУРА,
ГЕТЕРОДИФФУЗИЯ.
1.1. Поверхностные структуры на сингулярных гранях кремния
1.1.1. Основные понятия и обозначения
1.1.2. Структура чистых поверхностей.
1.1.2.1. Структура поверхности грани Ь1 1
1.1.2.2. Структура поверхности грани 0.
1.1.2.3. Структура поверхности грани 0.
1.2. Диффузия инородных атомов по поверхности кристалла
1.2.1. Случайные блуждания.
1.2.2. Диффузия из источника постоянной мощности.
1.2.3. Диффузия из источника постоянной мощности с учетом объмной диффузии
1.2.4. Тврдофазное растекание.
1.2.5. Особенности поверхностной диффузии
1.2.6. Гетеродиффузия в присутствии атомов третьего элемента. Сурфактанты
Глава 2. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ, АППАРАТУРА И МЕТОДИКА.
2.1. Дифракция медленных электронов.
2.1.1. Физические основы дифракции
2.1.2. Аппаратура.
2.2. Электронная ожеспектроскопия
2.2.1. Физические принципы ожеспектроскопии
2.2.2. Устройство ожесиекгрометра
2.2.3. Количественный анализ с помощью ожеспектроскопии
2.3. Экспериментальная аппаратура.
2.4. Подготовка образцов кремния
2.5. Методика эксперимента
2.5.1. Осаждение инородных атомов на поверхность кремния
2.5.2. Обработка экспериментальных результатов
Глава 3. ДИФФУЗИЯ АТОМОВ НА ЧИСТЫХ ПОВЕРХНОСТЯХ
КРЕМНИЯ.
3.1. Диффузия по поверхностям кремния 1, 0 и 0.
3.2. Диффузия РЬ по поверхностям кремния 1, 0 и 0.
3.2.1. Особенности исследования диффузии РЬ.
3.2.2. Механизм диффузии атомов РЬ
3.2.3. Электромиграция атомов РЬ
3.3. Диффузия по поверхностям кремния 1, 0 и 0.
3.3.1. Механизм диффузии атомов
3.3.2. Электромиграция атомов
3.4. Перенос i вдоль поверхностей кремния 1, 0 и 0.
3.5. Перенос Со вдоль поверхностей кремния 1, 0 и 0.
3.6. Перенос Си вдоль поверхностей кремния 1, 0 и 0.
Выводы.
Глава 4. ДИФФУЗИЯ АТОМОВ И i НА ПОВЕРХНОСТИ
КРЕМНИЯ В ПРИСУТСТВИИ ИНОРОДНЫХ АТОМОВ
4.1. Диффузия по поверхности кремния 1 с адсорбированными атомами
4.2. Перенос i вдоль поверхности кремния 1 с адсорбированными атомами Со.
4.3. Перенос i вдоль поверхности кремния 1 с адсорбированными атомами .
4.4. Перенос Си вдоль поверхности кремния 1 с адсорбированными
атомами .
Выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922