Оптические свойства анизотропных кремниевых структур

СОДЕРЖАНИЕ
Список часто используемых сокращений и обозначений
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ВЛИЯНИЕ АНИЗОТРОПИИ ФОРМЫ ПОЛУПРОВОДНИКО
ВЫХ НАНО И МИКРОСТРУКТУР НА ИХ ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА обзор литературы
1.1 Концепция эффективной среды и двулучепреломление формы
1.2 Двулучепреломление в слоях пористого кремния
1.3 Оптические свойства щелевых кремниевых структур
1.4 Влияние свободных носителей заряда на оптические свойства
кремниевых нано и микроструктур
1.5 Комбинационное рассеяние света в кремниевых структурах. Эффект
1.6 Выводы из обзора литературы и постановка задачи
ГЛАВА 2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ
КРЕМНИЕВЫХ МИКРО И НАНОСТРУКТУР
2.1 Основные соотношения для расчета оптических характеристик
анизотропных слоев мезопористого кремния и щелевых кремниевых структур
2.2 Расчет эффективных показателей преломления и коэффициентов
поглощения щелевых кремниевых структур
2.3 Расчет эффективных показателей преломления и коэффициентов
поглощения анизотропных слоев мезопористого кремния
ГЛАВА 3. ИССЛЕДУЕМЫЕ ОБРАЗЦЫ И МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
3.1 Образцы мезопористого кремния
3.2 Образцы щелевых кремниевых структур
3.3 Измерение коэффициентов преломления образцов в видимом и ИК
диапазонах спектра
3.4 Определение коэффициентов поглощения и дихроизма пористого
кремния в видимом и ИК диапазоне спектра, расчет концентрации носителей заряда
3.5 Измерение спектров комбинационного рассеяния света
ГЛАВА 4. ДВУЛУЧЕПРЕЛОМЛЕНИЕ И ОПТИЧЕСКИЙ ДИХРОИЗМ В
СЛОЯХ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ
4.1 Дисперсия показателей преломления, двулучепреломления и
дихроизма в слоях пористого кремния в видимом и среднем ИК диапазоне. Влияние пористости и формы кремниевых нанокристаллов и пор на оптические свойства пористого кремния
4.2 Двулучепреломление и дихроизм в слоях пористого кремния в
среднем и дальнем инфракрасном диапазоне
4.3 Комбинационное рассеяние света в пористом кремнии
ГЛАВА 5. ДВУЛУЧЕПРЕЛОМЛЕНИЕ В ЩЕЛЕВЫХ КРЕМНИЕВЫХ
СТРУКТУРАХ
5.1 Двулучепреломление в щелевых кремниевых структурах в широком
диапазоне
5.2 Влияние свободных носителей заряда на оптическое пропускание
щелевых кремниевых структур
5.3 Комбинационное рассеяние света в щелевых кремниевых структурах
ЗАКЛЮЧЕНИЕ И ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ