Релаксация неравновесного обеднения на поверхности кремния при сильных электрических полях

ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение . стр.
ГЛАВА I. Эффект неравновесного обеднения обзор литературы .
1.1. Сущность явления неравновесного обеднения.
1.2. Релаксация неравновесного обеднения при умеренных электрических ПОЛЯХ
1.2Л. Большая плотность ПЗС
1.2.2. Малая плотность ПЗС.
1.3. Термополевые процессы ускорения релаксации
при больших электрических полях
Выводы к главе I
ГЛАВА II. Релаксация неравновесного обеднения на
реальной и термически окисленной поверхности кремния
2.1. Введение
2.2. Методика исследований
2.3. Релаксация неравновесного обеднения на
реальной поверхности кремния ртипа.
2.3.1. Релаксация в начальный момент неравновесного обеднения.
2.3.2. Релаксация, обусловленная туннельноактивационными процессами.
2.4. Релаксация неравновесного обеднения на
реальной поверхности кремния птипа
2.5. Релаксация неравновесного обеднения на термически окисленной поверхности кремния
птипа
2.6. Анализ релаксации неравновесного обеднения стр. при больших электрических полях на атомарночистой поверхности кремния
2.7. Выводы к главе II
ГЛАВА III. Релаксация неравновесного обеднения на легированной металлами поверхности кремния.
3.1. Введение.
3.2. Методика легирования поверхности кремния металлами
3.3. Релаксация неравновесного обеднения на поверхности кремния, легированной золотом
3.4. Релаксация неравновесного обеднения на легированной цинком поверхности кремния
3.4.1. Поверхность, легированная по способу И
3.4.2. Поверхность, легированная по способу 2 ПО
3.5. Выводы к главе III. ИЗ
ГЛАВА 1У. Релаксация неравновесного обеднения на
кремниевых ВДПструктурах.
4.1. Введение
4.2. Методика исследований.
4.3. Технология изготовления исследуемых ЭДЦП
структур
4.4. Релаксация неравновесного обеднения на ВДПструктурах, изготовленных с применением хлорной технологии
4.5. Релаксация неравновесного обеднения на МДПструктурах, полученных окислением в сухом кислороде.
4.6. Релаксация неравновесного обеднения на стр. ЩПструктурах, облученных радиацией
4.7. Способ подавления релаксации емкости
кремниевых ВДПструктур.
4.7.1. Экспериментальные результаты
4.7.2. Природа процессов, приводящих к подавлению релаксации неравновесной емкости.
4.8. Выводы к главе 1У.
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА