Процессы переноса и захвата заряда в системе электролит-нитрид кремния-окисел-кремний

ОГЛАВЛЕНИЕ
ШЕДШИЕ
Глава I. ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В СИСТЕМЕ ЭЛЕКТРОЛИТ
НИТРИД ОКИСЕЛ ПОЛУПРОВОДНИК II
1.1 Особенности физических процессов в системе электролит диэлектрик полупроводник обзор литературы. . II
1.2 Исследование поляризационных характеристик системы ЭНОП .
1.3 Исследование ЭНОП систем методом динамических
вольтамперных характеристик .
Выводы к I главе
Глава II. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОФИЛЯ ЗАХВАЧЕННОГО ЗАРЯДА В ДИЭЛЕКТРИКЕ ШОП И ЭНОП СИСТЕМ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИМИ МЕТОДАМИ .
2.1 Распределение захваченного заряда в диэлектрике ШОП структур обзор литературы
2.2 Исследование профиля захваченного заряда в нитриде кремния емкостными методами в системе ЭНОП.
2.3 Определение профиля захваченного в диэлектрике заряда методом измерения релаксационных
токов в ЭДП системе терия метода
2.4 Изучение влияния различных технологических факторов на распределение заряда в диэлектрике
ШОП структур
Выводы к главе II
Глава III. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ПЕРЕНОСА
И ЗАХВАТА ЗАРЯДА В ШОП И ЭНОП СТРУКТУРАХ .
3.1 Расчет профиля захваченного заряда в диэлектрике ШОП структур обзор литературы .
3.2 Методика расчета профиля захваченного заряда
в диэлектрике структуры
3.3 Расчет профиля захваченного заряда в диэлектрике структур ЭНОП и ШОП и определение параметров центров захвата в нитриде кремния
3.4 Моделирование характеристик накопления
заряда в ШОП элементах памяти. III
Выводы к главе III .
Глава 1У. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРИРОДЫ ЦЕНТРОВ ЗАХВАТА ЗАРЯДА В
НИТРИДЕ КРЕМНИЯ.
4.1 Современные представления о природе центров захвата в нитриде кремния и деградационных изменениях их параметров обзор литературы
4.2 Исследование неоднородных диэлектрических покрытий методом послойной эллипсометрии
4.3 Исследование профиля показателя преломления
и скорости травления пленок нитрида кремния методом послойной эллипсометрии .
4.4 Исследования деградационных изменений параметров центров захвата в пленках нитрида кремния. 1 Выводы к главе 1У.
Приложение I. Электрофизические характеристики ВДП структур с поликристаллическим кремниевым полевым электродом .
ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ ДИССЕРТАЦИОННОЙ РАБОТЫ .
ЗАКЛЮЧЕНИЕ. 6.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ