СОДЕРЖАНИЕ
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.
1.1 Способы получения и структурные свойства пористого кремния.
1.2 Определение концентрации свободных носителей заряда с помощью
ИКспсктроскопии.
1.2.1 Инфракрасная спектроскопия пористого кремния
1.2.2 Определение концентрации свободных носителей заряда.
1.2.3 Влияние адсорбции активных молекул на концентрацию свободных
носителей заряда
1.3 Перенос носителей заряда в ПК
1.3.1 Контактные явления на границе ПКметалл и ПКкремний
1.3.2 Электропроводность ПК.
1.3.3 Фотопроводимость ПК.
1.3.4 Влияние адсорбции активных молекул на электропроводность
1.3.5 Модификация электрофизических свойств ПК при окислении
1.4 Выводы из обзора литературы и постановка задачи исследования.
ГЛАВА 2. ОБРАЗЦЫ И МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЙ.
2.1 Приготовление образцов мезопористого кремния.
2.2 Методика измерения электропроводности и фотопроводимости.
2.3 Регистрация ИКспектров и определение концентрации свободных
носителей заряда
. 2.4 Получение и очистка адсорбатов.
2.5 Адсорбционные измерения
ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СВОЙСТВ АНИЗОТРОПНОГО МЕЗОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ.
3.1 Электропроводность мезопористого кремния на постоянном токе
3.2 Фотопроводимость мезопористого кремния.
3.3 Электропроводность и мкость мезопористого кремния на переменном
3.4 Анизотропия электропроводности и мкости в слоях мезопористого
ГЛАВА 4. ВЛИЯНИЕ АДСОРБЦИИ АКТИВНЫХ МОЛЕКУЛ И ТЕРМИЧЕСКОГО ОТЖИГА НА ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ ПК
4.1 Влияние адсорбции активных молекул на электропроводность ПК
4.1.1. Расчет концентрации свободных носителей заряда в образцах мезопористого кремния п и ртипа на основе ИКспектров пропускания.
4.1.2. Изменение электропроводности ПК при адсорбции активных молекул
4.1.3. Подвижность свободных носителей заряда в мезопористом кремнии п и ртипа.
4.1.4. Температурные зависимости электропроводности до и после адсорбции активных молекул
4.2 Влияние термического отжига на электропроводность в ПК.
4.2.1. Модификация электрофизических свойств изотропного ПК при термическом окислении.
4.2.2. Модификация электрофизических свойств анизотропного ПК при термическом окислении.
кремния
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Киев+380960830922