СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.
1.1. Технология получения фоточувствительных пленок РЬБ
1.1.1 ФЧЭ полученные методом физического напыления
1.1.2 ФЧЭ полученные мегодом химическим методом.
1.2 Изготовление фотоприемников
1.3 Основные параметры фотоприемников
1.3.1 Шумы в фоторезисторах и полупроводниковых структурах
1.3.2 Шумы в фоторезисторах на основе РЬБ.
1.4 Основные свойства РЬБ
1.4.1 Оптические свойства РЬБ.
1.4.2 Частотные свойства ФР на основе РЬБ.
1.4.3 Механизм фотопроводимости в пленках РЬБ
1.4.4 Роль кислорода
1.5 Химический состав ФЧЭ на основе РЬ8
Выводы по разделу
Задачи.
2. МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ ПАРАМЕТРОВ ФОТОПРИЕМНИКОВ И СТРУКТУР
2.1 Измерение фотоэлектрических параметров.
2.1.1 Установка для измерения фотоэлектрических параметров
2.1.2 Установка для снятия спектра плотности мощности шума
2.2 Установка для исследования спектральных характеристик
2.3 Термообработка исследуемых ФЧЭ.
2.4 Растровая электронная микроскопия как метод исследования поверхности
фоточувствительных элементов.
3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЫ1ЫЕ ОБРАЗЦЫ.
3.1 Анализ технологии ФЧЭ
Обсуждение результатов.
4. РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ФР
4.1 Фотоэлектрические параметры ФР
4.2 Исследование влияния влажности на параметры ФЧЭ.
4.2.1 Исследование влияния влажности в процессе очувствления на параметры ФЧЭ.
4.2.2 Исследование влияния влажности в на параметры ФЧЭ в период их
хранения
Обсуждение результатов
5. РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЯ СПЕКТРАЛЬНОЙ ПЛОТНОСТИ МОЩНОСТИ ШУМА ФОТОРЕЗИСТОРОВ.
5.1 Составляющие спектральной плотности мощности шума фоторезисторов
5.2 Спектральная плотность мощности шума фоторсзисторов ФР2
5.3 Спектральная плотность мощности шума фоторсзисторов.
5.4 Влияние повышенных температур на шумы фоторезисторов
5.5 Влияние адсорбированного кислорода на характеристики ФЧЭ
5.6 Шумы фоторезисторов конструкция или технология
5.7 Влияние атмосферного кислорода на СПМШ вакуумных ФР.
5.8 Морфология поверхности ФЧЭ на основе
5.9 Спектральные характеристики приборов на основе
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Литература
- Киев+380960830922