- Киев+380960830922
Вы здесь
Введите ключевые слова для поиска диссертаций:
Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок
Тип работы:
кандидатская
Год:
1999
Количество страниц:
129
Артикул:
233262 179 грн
Рекомендуемые диссертации
- Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
- Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии
- Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
- Система диагностики механических элементов вакуумного оборудования
- Новые технохимические процессы и оборудование жидкостного химического снятия слоев полимеров в планарном микроэлектронном производстве
- Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологий
- Теплофизические исследования и разработка реакторного блока установки быстрой термической обработки
- Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
- Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники
- Исследование процесса и разработка установки финишной обработки микроприборов потоком твердых частиц