Ви є тут

Процессы атомной миграции и напряженно-деформированное состояние кристалла при локальном диффузионном легировании кремния (численное исследование)

Автор: 
Големшток Григорий Михайлович
Тип роботи: 
кандидатская
Рік: 
1984
Кількість сторінок: 
167
Артикул:
179984
179 грн
Додати в кошик