Введение .
1. НЕЙТРОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВ обзор
1.1. Физические основы нейтронного трансмутационного легирования полупроводников на ядерных реакторах .
1.2. Нейтронное легирование кремния .
1.3. Нейтронное легирование германия
1.4. Нейтронное легирование твердых растворов 1хСех
1.5. Исследования отжига нейтроннолегированного кремния.
1.6. Выводы к главе 1.
2. МЕТОДИЧЕСКИЕ ВОПРОСЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ
2.1. Образцы твердых растворов 1хСех для нейтронного легирования .
2.2. Нейтронное облучение твердых растворов Зд.1хСех
2.3. Отжиг облученных образцов
2.4. Измерение электрофизических параметров
2.5. Измерение времени жизни носителей тока
2.6. Измерение фотоэлектрических параметров
2.7. Емкостная спектроскопия глубоких уровней
2.8. Автоматизация эксперимента .
3. КИНЕТИКА ВОССТАНОВИТЕЛЬНОГО ОТЖИГА НЕЙТРОННОЛЕГИРОВАННОГО НЛ КРЕМНИЯ.
3.1. Влияние исходных параметров кремния и способа отжига на кинетику отжига НЛ .
3.2. Экспериментальные результаты по изохронному и изотермическому отжигу НЛ
3.3. Влияние флюенса и спектра нейтронов на кинетику отжига НЛ Б1
3.4. Представление кинетики высокотемпературного восстановительного отжига НЛ в рамках теории эффективной среды
3.5. Выводы к главе 3
4. ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НЛ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ
в ОБЛАСТИ СОСТАВОВ СО СТОРОНЫ КРЕМНИЯ.
4.1. Определение электрофизических параметров НЛ твердых растворов ххСех.
4.2. Зависимость компенсации НЛ твердых растворов 1хСех от состава
4.3. Термическая энергия ионизации примеси Оа в НЛ твердых растворах 1хСех.
4.4. Неоднородности распределения трансмутационных примесей в твердых растворах ххСех и их проявление в электрофизических и
гальваномагнитных свойствах
4.5. Выводы к главе 4.
5. ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НЛ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ З.хвех В ОБЛАСТИ КВАНТОВ С ЭНЕРГИЙ 0.1. эВ
5.1. Примесная фотопроводимость .
5.2. Рекомбинационные свойства НЛ твердых растворов
5.3. Оптическая ширина запрещенной зоны в НЛ твердых растворах 1хСех
5.4. Глубокие центры в НЛ твердых растворах 1хСех .
5.5. Выводы к главе 5
6. СТРУКТУРЫ НА ОСНОВЕ НЛ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ
хех
6.1. Получение р структур на основе I твердых растворов iixx
6.2. Электрофизические свойства р структур на
основе 1 твердых растворов iixx.
6.3. Фотоэлектрические свойства р структур на
основе НЛ твердых растворов iixx
6.4. Выводы к главе 6.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Список литературы
- Київ+380960830922