СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА I. РАДИАЦИОННЫЕ ЭФФЕКТЫ В КРЕМНИЕВЫХ МОПСТРУКТУРАХ
1.1. Радиационные дефекты в МОПструктурах
1.2. Формирование радиационного заряда в окисле МОПструктуры
1.3. Генерация радиационноиндуцированных поверхностных состояний
1.4. Релаксация накопленного радиационноиндуцированного
заряда.
1.5. Методы оценки радиационной стойкости МОПструктур.
Выводы к главе 1.
ГЛАВА II. МОДЕЛЬ МОПСТРУКТУРЫ И ПРОЦЕССОВ НАКОПЛЕНИЯ РА ДИ А ЦИО Ш О И ИДУ ЦИ РОВ А ИНОГО ЗАРЯДА
2.1. Выбор физической модели
2.2. Математическое описание модели
2.3. Проверка адекватности модели
Выводы к главе II
ГЛАВА III. МОДЕЛИРОВАНИЕ РАДИАЦИОННЫХ И РЕЛАКСАЦИОННЫХ ПРОЦЕССОВ
3.1. Влияние характеристик структуры на вид дозовой зависимости сдвига погорового напряжения МОПструк гуры.
3.2. Зависимость сдвига порогового напряжения
МОПструктуры от напряжения на затворе
3.3. Влияние мощности дозы на сдвиг порогового напряжения МОПструктуры
3.4. Влияние температуры на сдвиг порогового напряжения МОПструктуры
Выводы к главе III.
ГЛАВА IV. МЕТОД ОЦЕНКИ РАДИАЦИОННОЙ СТОЙКОСТИ МОПСТРУКТУР
4.1. Определение параметров МОПструктуры структуры по
дозовой зависимости сдвига порогового напряжения.
4.2. Описание разработанной программы
4.3. Оценка радиационной стойкости МОПструктуры при
низкой мощности дозы.
Выводы к главе IV
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922