ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ Глава 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
1.1. Испарение пленок двуокиси германия
1.1.1. Десорбщы кислорода с поверхности Се и диссогрмра Се
1.1.2. Анализ дихрузионных ограничений в реакции образования газообразного ОзО
1.1.3. Проблема массопереноса в объме сюя СеОг
1.1.4. Критичестш стана лимитирующей ападии реакгрт иащусния СеО
1.2. Анализ кристаллизации в плнках
1.2.1. Кристагчтеские моднфиктрш Се
1.2.2. Получение и свойопва слоев гексагональной фазы Се
. Заключение по обзору литературы. Основные задачи диссертации Глава 2. МЕТОДЫ СИ1ГГЕЗА И ИССЛЕДОВАНИЯ СЛОЕВ Се
2.1. Синтез слоев Се на германии и других материалах
2.2. Очистка инертных газов от примесей и Н и синтез слоев веО
2.2.1. Осаждение счов СеО на германии и кремнии Ф 2.2.2. Очистка инертыхгспов от примесей О2иНу
2.3. Основные методы исследования плнок
2.3.1. Инфракрасная спектроскопия и комбинаг1юнноерассеяние
2.3.2. Электронная микроскопия
2.3.3. Эгшгсаметрия
2.3.4. Изучение апруштуры диэлектрических плнок пцювлением
2.3.5. Оптическая мщххкония Заключение и выводы к главе
д Глава 3 ИСПАРЕНИЕ СТЕКЛОВИДНЫХ И КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ
ПЛНОК СсСЬ
3.1. Исследование испарения плнок термического оксида германия
3.1.1. Формула протекакпцей реакции
3.1.2. Рачь диффузии молекул СеО в газ
3.1.3. Анапе роли тристости СеО2 в провесе его испарения ,
3.2. Анализ экспериментальных результатов
3.2.I. Анапа факторов, влияющих на скорость реакции
3.2.2 Качественная модель провеса испарения оксида с поверхности германия
3.2.3 Обоснование модели Строение, концентрация и движение вакансий кислорода в Се
Образование кислородных вакансий в БЮ2 и 0е и их строение
Механизм перемещения кислородных вакансий в стекле
Энергии активации переключения вакантной связи
3.2.4 Образовсише газообразного СеО и взаимосвязь трх фаз реакции 1
3.2.5 Особенности испарения на краях плнки Се
3.3 Различия в испарении стеклообразных и кристаллических слоев Се
3.4 Сравнительный анализ исследуемых процессов в системах СеСе и БУБЮг
3.5 Описание в рамках единой модели процессов роста и испарения термического оксида
3.6 Практические приложения обсуждаемых результатов
Заключение и выводы к главе 3
Глава 4. КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ ПШМЮК ТЕРМИЧЕСКОГО ве
4.1 Крисгаллизация плнок Се при комнатной температуре 4 Ф 4.2 Кинетика роста кристаллов в термическом ве при повышенных
температурах
4.3 Эволюция рельефа кристаллизующегося окисла и подложки
4.4 Особенности структуры и строения сферолитов
4.5 Формирование микрорельефа подложки германия в окрестности сферолитов
4.5.1 Азимутальная неоднородность рельефа подложки под сферолиталш
4.5.2 Образование кольцевых зон вокруг сферолитов
4.5.3. Поверхностная миграция германия
. 4.5.4 Поверхностный перенос фазы Сеам
4.6. Особенности кристаллизации аморфных плнок Се в вакууме
4.7. Проблема получения качественных слов Сегекс на германии
Выводы к главе 4
Основные выводы по диссертации
Благодарность
Литература
- Київ+380960830922