Содержание
Перечень сокращений и условных обозначений.
Введение.
Глава 1. Обзор литературы и постановка задачи.
1.1 Физические основы метода
1.2 Проникновение лазерного луча
1.3 Термическая волна и волна носителей заряда
1.4 Схемы и принципы работы установок I и .
1.4.1 Принцип работы установки I
1.4.2 Принцип работы установки .
1.5 Обзор литературы по исследованию имплантированной поверхности кремния.
1.5.1 Материал подложки.
1.5.2 Влияние параметров ионной имплантации на детектируемый сигнал
1.5.2.1 Зависимость от типа иона.
1.5.2.2 Зависимость от энергии иона
1.5.2.3 Влияние имплантации на коэффициент отражения .
1.5.2.4 Зависимость от тока пучка ионов
1.5.3 Влияние дозы имплантации на контролируемые параметры
1.5.3.1 Измерение при малых дозах ю до ,2см2.
1.5.3.2 Измерение при средних от см до порога аморфизации и больших дозах .
1.5.4 Чувствительность и калибровка.
1.5.5 Зависимость величины измеряемого отклика от времени
после имплантации.
1.5.6 Измерение на образцах со структурой
1.5.7 Использование термоволнового метода для исследования мелкозалегающих рп переходов
1.6 Заключение и постановка задачи диссертационной работы
Глава 2. Выявление физических механизмов, определяющих величину измеряемого сигнала
2.1 Анализ соотношений вкладов основных механизмов для реальных условий эксперимента.
2.2 Особенности применения термооптической методики.
Глава 3. Исследование возможностей применения методики термооптического детектирования для изучения состояния поверхности образцов монокристаллического кремния после различных видов обработок кроме ионного легирования
3.1 Методика эксперимента.
3.2 Результаты эксперимента.
3.2.1 Исходные образцы
3.2.2 Окисленные образцы
3.2.3 Отожженные образцы
3.3 Обсуждение результатов
Глава 4. Термооптические эффекты на поверхности имплантированного кремния
4.1 Методика эксперимента
4.2 Экспериментальные результаты.
4.2.1 Зависимость термооптического сигнала от массы иона.
4.2.2 Отжиг радиационных дефектов.
4.2.3 Влияние поверхностного слоя окисла на термооптический сигнал.
4.2.4 Вариации времязависимого цикла
4.3 Заключение
Глава 5. Особенности дефектообразования при имплантации в кремний ионов фтора.
Глава 6. Основные результаты и выводы.
Список литературы
- Київ+380960830922