Комбинационное рассеяние света в массивах нанообъектов кремния и арсенида галлия

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
Глава 1. ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА КВАНТОВЫХ ОБЪЕКТОВ, ФОРМИРУЮЩИХСЯ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ структурах на ОСНОВЕ КРЕМНИЯ И АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.
1.1 Комбинационное рассеяние света в пленках нанокристаллического и
поликристалличсского кремния.
1.2 Оптические свойства нанокристаллов кремния в пленках нитрида и
оксида кремния.
1.3 Фононный спектр сверхрешеток ОаАзА1А8
1.4 Оптические и фононные свойства квантовых проволок и квантовых
точек ОаАБ.
Глава 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ МЕТОДИКИ
2.1 Методика спектроскопии комбинационного рассеяния света
2.2 Методика спектроскопии поглощения света.
2.3. Измерение толщин и оптических констант тонких полупроводниковых
пленок методом эллипсометрии
2.4 Методики приготовления экспериментальных образцов.
Глава 3. ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ НАНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ В ПЛЕНКАХ авШ МЕТОДОМ КОМБИНАЦИОННОГО РАССЕЯНИЯ
3.1 Исследование формирования нанокристаллов кремния в пленках
аморфного кремния.
3.2 Комби национное рассеяние света в системе ориентированных
нанокристаллов кремния
3.3 Исследование кинетики кристаллизации и структуры полученных пленок поликремния.
Глава 4. КОМБИНАЦИОННОЕ РАССЕЯНИЕ СВЕТА В ПЛЕНКАХ НИТРИДА И ОКСИДА КРЕМНИЯ, СОДЕРЖАЩИХ НАНОКРИСТАЛЛЫ КРЕМНИЯ
4.1 Правила отбора комбинационного рассеяния света по симметрии для
произвольно ориентированных нанокристаллов кремния.
4.2 Исследование методом комбинационного рассеяния света
нанокристаллов кремния в пленках ix и ix.
Глава 5. ЛОКАЛИЗАЦИЯ ОПТИЧЕСКИХ ФОНОНОВ В КВАНТОВЫХ ПРОВОЛОКАХ И ОСТРОВКАХ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ, ФОРМИРУЮЩИХСЯ НА РЕКОНСТРУИРОВАННОЙ
ПОВЕРХНОСТИ.
5.1 Расщепление по частоте поперечных оптических фононов,
локализованных в квантовых проволоках .
5.2. Исследование спектра оптических фононов, локализованных в квантовых островках , самоорганизующихся при гетероэпитаксиальном росте в условиях реконегрукции
поверхности 1
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА