Вы здесь

Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева

Автор: 

Невшупа Роман Александрович

Тип работы: 

Кандидатская

Год: 

1999

Артикул:

1000212756

179 грн

Добавить в корзину

• 
• 
• 

Рекомендуемые диссертации

• Система диагностики механических элементов вакуумного оборудования
• Построение исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волнового движения
• Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона
• Исследование и разработка пространственных колебательных систем для балансировки неуравновешенных роторов оборудования чистых производств
• Моделирование и разработка широкоугольных электронно-оптических систем прецизионного электронно-лучевого оборудования
• Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологий
• Новые технохимические процессы и оборудование жидкостного химического снятия слоев полимеров в планарном микроэлектронном производстве
• Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального