Вы здесь

Исследование перспективных фотолитографических процессов с суб-0.2 мкм проектными нормами с помощью математического моделирования

Автор: 
Ивин Владимир Владимирович
Тип работы: 
кандидатская
Год: 
2000
Количество страниц: 
146
Артикул:
1000306705
179 грн
Добавить в корзину