СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ПРОБЛЕМА УПРАВЛЕНИЯ СВОЙСТВАМИ НЕКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
1.1. ОСОБЕННОСТИ НЕКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО СОСТОЯНИЯ ТВЕРДОГО ТЕЛА
1.2. МЕТОДЫ УПРАВЛЕНИЯ СВОЙСТВАМИ И ПОВЫШЕНИЯ ВОСПРОИЗВОДИМОСТИ СВОЙСТВ НЕКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
1.2.1. ЛЕГИРОВАНИЕ АМОРФНОГО ГИДРОГЕНИЗИРОВАННОГО КРЕМНИЯ.
1.2.2. ПСЕВДОЛЕГИРОВАНИЕ АМОРФНОГО ГИДРОГЕНИЗИРОВАННОГО КРЕМНИЯ.
1.2.3. ХИМИЧЕСКАЯ МОДИФИКАЦИЯ ХАЛЬКОГЕНИДНЫХ СТЕКЛООБРАЗНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ.
1.2.4. СТРУКТУРНАЯ МОДИФИКАЦИЯ СВОЙСТВ ХАЛЬКОГЕНИДНЫХ СТЕКЛООБРАЗНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
1.3. АЛЛОТРОПИЧЕСКИЕ МОДИФИКАЦИИ УГЛЕРОДА И ИХ
ФИЗИКОХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА.
1.3.1 УГЛЕРОД
1.3.2. ВАЛЕНТНЫЕ СОСТОЯНИЯ УГЛЕРОДА
1.3.3. ХАРАКТЕРИСТИКА УГЛЕРОД УГЛЕРОДНЫХ
СВЯЗЕЙ.
1.3.4. .АЛЛОТРОПИЧЕСКИЕ МОДИФИКАЦИИ УГЛЕРОДА
1.3.4.1. АЛМАЗ.
1.3.4.2. ГРАФИТ
1.3.4.3. КАРБИН
1.3.4.4. ФУЛЛЕРЕНЫ И ФУЛЛЕРИДЫ
1.3.4.5. УГЛЕРОДНЫЕ НАНОЧАСТИЦЫ И НАНОТРУБЫ.
1.3.4.6. ДРУГИЕ ФОРМЫ УГЛЕРОДА
1.3.5. ПЛЕНКИ АМОРФНОГО УГЛЕРОДА.
1.3.6. МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК УГЛЕРОДА
1.3.7. СВОЙСТВА ПЛЕНОК аС И аСН И ОБЛАСТИ ИХ ПРИМЕНЕНИЯ.
1.3.8. ДАННЫЕ О СТРУКТУРЕ ПЛЕНОК.
1.4 ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ
ГЛАВА 2. УРОВНИ ИЗМЕНЕНИЯ СТРУКТУРЫ НЕКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ МЕТОДЫ ИХ ИДЕНТИФИКАЦИИ
2.1. ЧЕТЫРЕ УРОВНЯ СТРУКТУРНОЙ МОДИФИКАЦИИ.
2.1.1. ИЗМЕНЕНИЯ СТРУКТУРЫ НА УРОВНЕ
БЛИЖНЕГО ПОРЯДКА В РАСПОЛОЖЕНИИ АТОМОВ
2.1.2. ИЗМЕНЕНИЯ СТРУКТУРЫ НА УРОВНЕ
СРЕДНЕГО ПОРЯДКА В РАСПОЛОЖЕНИИ АТОМОВ
2.1.3. ИЗМЕНЕНИЯ СТРУКТУРЫ НА УРОВНЕ МОРФОЛОГИИ
2.1.4. ИЗМЕНЕНИЯ СТРУКТУРЫ НА УРОВНЕ ПОДСИСТЕМЫ ДЕФЕКТОВ.
2.2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ МЕТОДЫ ИДЕНТИФИКАЦИИ РАЗЛИЧНЫХ УРОВНЕЙ ИЗМЕНЕНИЯ СТРУКТУРЫ.
2.3. ПРИМЕНИМОСТЬ РАЗЛИЧНЫХ УРОВНЕЙ МОДИФИКАЦИИ СТРУКТУРЫ К ПЛЕНКАМ аС И аСН.
2.4. ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ
ГЛАВА 3. МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ И ИССЛЕДОВАНИЯ
ПЛЕНОК аСН.
3.1. МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК И ОСНОВНЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ.
3.2. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ СТРУКТУРЫ И МОРФОЛОГИИ ПЛЕНОК.
3.3. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ ПЛЕНОК
3.3.1. ИССЛЕДОВАНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ
3.3.2. ОПТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ
3.3.3. ИНФРАКРАСНАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
3.3.4. ЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ ПЛЕНОК аСН
3.3.5 СПЕКТРЫ ПЛОТНОСТИ СОСТОЯНИЙ
ГЛАВА 4. ИССЛЕДОВАНИЯ СТРУКТУРЫ И МОРФОЛОГИИ
ПЛЕНОК аСН
4.1. ФУНКЦИЯ РАДИАЛЬНОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ АТОМОВ.
4.2. РАЗРАБОТКА МЕТОДИКИ ИДЕНТИФИКАЦИИ ФРРА МНОГОКОМПОНЕНТНОГО МАТЕРИАЛА.
4.3. АЛГОРИТМ РАБОТЫ ПРОГРАММЫ АНАЛИЗА КОМПОНЕНТНОГО СОСТАВА ФУНКЦИИ РАДИАЛЬНОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ АТОМОВ.
4.4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ДАННЫЕ ЭЛЕКТРОНОГРАФИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙ
ПЛЕНОК аСН.
4.5. ИК СПЕКТРОСКОПИЯ.
4.6. ВЛИЯНИЕ МЕТОДОВ И РЕЖИМОВ ПОЛУЧЕНИЯ НА АТОМНУЮ СТРУКТУРУ ПЛЕНОК НА УРОВНЕ
БЛИЖНЕГО И СРЕДНЕГО ПОРЯДКОВ.
4.7. ВЛИЯНИЕ МЕТОДОВ, РЕЖИМОВ ПОЛУЧЕНИЯ И МАТЕРИАЛА ПОДЛОЖЕК НА МОРФОЛОГИЮ ПЛЕНОК
4.6. ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ.
ГЛАВА 5. ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ ПЛЕНОК аСН В
ЗАВИСИМОСТИ ОТ МЕТОДОВ И РЕЖИМОВ ПОЛУЧЕНИЯ
5.1. ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК аСН
5.2. ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК аСН.
5.3. ИССЛЕДОВАНИЕ ПОДСИСТЕМЫ ДЕФЕКТОВ В
ПЛЕНКАХ аСН
5.4. ЭФФЕКТИВНОСТЬ РАЗЛИЧНЫХ УРОВНЕЙ МОДИФИКАЦИИ СВОЙСТВ ДЛЯ ПЛЕНОК аСН
5.5. ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922