Содержание
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1. Состав, структура и физические свойства пористого
кремния ПК.
1.1. Основные свойства ПК
1.2. Методы получение ПК
1.3. Теоретические модели фотолюминесценции ПК
1.4. Теоретические основы метода ультрамягкой рентгеновской спектроскопии УРС
1.5. Выводы.
Г ЛАВА 2. Методика получения и исследования электронно
.V т..
энергетических спектров и фазового состава и ПК.
2.1. Некоторые вопросы технологии получения
образцов ПК.
2.2. Получение спектров фотолюминесценции ФЛ Г1К
при различных способах возбуждения
2.3. Получение рентгеновских эмиссионных спектров
РЭС и спектров квантового выхода КВ ПК
2.4. Проведение низкотемпературных и высокотемпературных отжигов ПК.
2.5. Математическое моделирование и анализ РЭС
спектров
ГЛАВА 3. Энергетические спектры валентных электронов,
состав и ФЛ ПК
3.1. Влияние ориентации подложки на электронное
строение поверхностных слоев ПК.
3.2. Фазовый состав ПК на начальных стадиях его
получения электрохимическим способом
3.3. Фотолюминесцентные свойства Г1К.
ГЛАВА 4. Влияние окисления на структуру и свойства ПК.
4.1. Электронное строение поверхностных слоев ПК, окисленных в неравновесных условиях
4.2. Влияние низкотемпературного окисления в атмосфере
на фазовый состав поверхностных слоев ПК.
4.3. Влияние низкотемпературного окисления в потоке кислорода на фазовый состав поверхностных
слоев ПК и его фотолюминесценцию
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ.
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922