Оглавление
ОГЛАВЛЕНИЕ.
ВВЕДЕНИЕ.
Актуальность проблемы
Цель работы
Научная новизна
Практическая ценность
Положения, выносимые на зашит
Апробация работы.
Содержание работы
1 ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ.
1.1 Введение.
1.2 Анализ микро и наноструктур рентгеновскими методами.
1.2.1 Угловая зависимость коэффициента зеркального отражения
1.2.2 Особенности использования двухволновой рентгеновской рефлектометрии.
1.2.3 Рассеяние рентгеновского излучения
1.2.4 Расчет параметров многослойных структур.
1.2.5 Расчет коэффициента отражения рентгеновского излучения
1.2.6 Генетический алгоритм поиска глобального минимума функционала невязки.
1.3 Фрактальный метод исследования упорядоченности самоорганизованных
микро и наноструктур
1.3.1 Упорядоченные структуры на поверхности
1.3.2 Степень упорядочения
1.3.3 Фрактальная размерность.
1.4 Заключение
2 ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ТОНКИХ ПЛЕНОК
МЕТАЛЛОВ И СИЛИЦИДОВ.
2.1 Методика эксперимента
2.1.1 Подготовка экспериментальных образцов.
2.2 Расчет параметров слоев никеля и силицидов никеля
2.2.1 Параметры структуры i на подложке ix
2.2.2 Параметры структуры i на подложке i
2.2.3 Параметры структуры ii на подложке i
2.2.4 Параметры структуры iii на подложке i.
2.3 Исследование параметров дискретных структур на поверхности подложек i
2.4 Исследование параметров кремния, имплантированного фтором
2.5 Основные результаты и выводы.
3 ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ МНОГОСЛОЙНЫХ
СТРУКТУР МЕТОДОМ ДВУХВОЛНОВОЙ РЕНТГЕНОВСКОЙ РЕФЛЕКТОМЕТРИИ
3.1 Методика эксперимента в
3.1.1 Подготовка экспериментальных образцов
3.2 Расчет параметров многослойных рентгеновских зеркал
3.2.1 Параметры многослойной структуры i.
3.2.2 араметры многослойной структуры 2I
3.2.3 Параметры многослойной структуры i.
3.3 Основные результаты и выводы.
4 ФРАКТАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ УПОРЯДОЧЕННОСТИ
ПОВЕРХНОСТНЫХ МИКРОСТРУКТУР
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
БЛАГОДАРНОСТИ.
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922