СОДЕРЖАНИЕ
Глава I. ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ И ПОЛИАМИД. ПОЛУЧЕНИЕ, ОСНОВНЫЕ ФИЗИЧЕСКИЕ И ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ СВОЙСТВА.
1.1 Получение и основные свойства пористого кремния.
1.2 Окисление пористого кремния в водной и воздушной средах.
1.3 Электрофизические характеристики пористого кремния
1.4 Физическая адсорбция в микро и мезопорах.
1.5 Полимеры полиамиды. Получение, применение и свойства полимеров.
1.6 Взаимодействие воды с полимерами
1.7 Выводы к главе 1
Глава И. КРЕМНИВЫЕ МДП СТРУКТУРЫ С ДИЭЛЕКТРИКОМ РОЛВ УСЛОВИЯХ СОРБЦИИ ПАРОВ ВОДЫ.
2.1 Методика ВЧ ВФХ МДП структур
2.1.1 Электронные свойства МДП структур. Метод ВФХ
2.1.2 Измерительновычислительный комплекс
2.1.3 Измерение отклика МДП структуры на изменение влажности
2.2. Адсорбционноемкостная порометрия
2.3 Выводы к главе II.
Глава III. ФИЗИКОХИМИЯ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ С ВОДОЙ.
3.1 Методика получения хемографического изображения и измерения электродных потенциалов.
3.2 Физикохимия взаимодействия пористого кремния с водой.
3.3. Выводы к главе III.
Глава IV. КРЕМНИЕВЫЕ МДП СТРУКТУРЫ С ПОЛИАМИДНЫМ ДИЭЛЕКТРИКОМ В УСЛОВИЯХ СОРБНЦИ ПАРОВ ВОДЫ.
4.1 Методика измерения электрофизических характеристик МДПструктур с подзатворным слоем из полиамида
4.2 Гетероструктуры кремний полимер в условиях сорбции паров воды
4.3. Выводы к главе IV.
Заключение и выводы.
Литература
- Київ+380960830922