СОДЕРЖАНИЕ
СОДЕРЖАНИЕ.
УСЛОВНЫЕ ОСНОВНЫЕ ОБОЗНАЧЕНИЯ И СОКРАЩЕНИЯ.
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА I. ПОЛУЧЕНИЕ И СВОЙСТВА МНОГОСЛОЙНЫХ НАНОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ.
СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМЫ.
1.1. Понятие аморфной сверхрешетки
1.2. Зонная структура аморфных МНС
1.2.1. Зонная диаграмма одиночного слоя аНЗЮ2
1.2.2. Зонная диаграмма МНС ая5С.
1.2.3. Зонная диаграмма ДЬструктуры а5.
1.2.4. Зонная диаграмма МНС аЗИаОе.
1.3. Условия размерного квантования в аморфных МНС
1.4. Свойства МНС на основе 0.
1.4.1. Структурные свойства МНС.
1.4.1.1. Свойства границ раздела
1.4.1.2. Свойство периодичнос ти
1.4.2 Оптические свойства аморфных МНС
1.4.3. Параллельный электронный транспорт в аморфных МНС
1.4.4. Вертикальный электронный транспорт в аморфных МНС
1.4.5. Фотолюминесценция в аморфных МНС.
1.5. ВЫВОДЫ И ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ
ГЛАВА 2. МЕТОДИКА ПОЛУЧЕНИЯ АМОРФНЫХ ПЛЕНОК И МНС
И МЕТОДЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ.
2.1. Улыратонкис пленки кремния, германия и МНС на их основе.
Напыление и контроль параметров в процессе напыления.
2.1.1. Параметры ультратонких пленок.
2.1.2. Параметры МНС.
2.2. Методики структурных исследований МНС.
2.2.1. Метод атомносиловой микроскогш.
2.2.2. Метод малоугловой рентгеновской дифракции.
2.2.3. Метод Ожеспектроскопии.
2.3. Методы оптических измерений аморфных МНС
2.3.1. Измерение и обработка спектров пропускания и отражения .
2.3.2. Измерение фотолюминесценции.
2.4. Методы исследования электрофизических свойств МНС.
2.4.1. Измерение электропроводности и ВАХ
2.4.2. Измерение температурной зависимости проводимости
ГЛАВА 3. СВОЙСТВА УЛЬТРАТОНКИХ СЛОЕВ а и аве
КАК МАТЕРИАЛОВ АМОРФНЫХ МНС
3.1. Влияние толщины пленки и материала подложки на формирование аморфных ультратонких слоев
3.2. Измерение толщины ультратонких пленок методом АСМ.
3.3. Влияние толщины на свойства ультратонких слоев
3.3.1. Оптические свойства сь5 и аСе
3.3.2. Электрофизические свойства я и аОе
3.4. ВЫВОДЫ.
ГЛАВА 4. ИССЛЕДОВАНИЕ ПЕРИОДИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ АМОРФНЫХ МНС аЫаСе, а2гОх, а веЗЮ2.
4.1. Результаты измерения периода МНС аЗИ2Юх, а3аОе и аСеЗЮ2 методом малоугловой рентгеновской дифракции
4.2. Исследование периодичности МНС методом АСМ.
4.2.1. Исследование клина травления МНС а32гОх
4.2.2. Исследование скола МНС аЗИаОе.
4.2.3. АСМ исследование поверхности МНС
4.2.4. Измерение обшей толщины и периода МНС
4.3. ВЫВОДЫ
ГЛАВА 5. ОПТИЧЕСКИЕ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
МНС аЗУ2Юх, аЯУЗЮ аЗУаве и аСеЗЮ2.
5.1. Оптическое поглощение МНС аЗУ2гОх
5.2. Анизотропия электропроводности МНС аЗУ2Юх. Влияние толщины ямных и барьерных слоев
5.3. Свойства параллельного электронного транспорта в МНС
а ЗУ2гОх. Нелинейность ВАХ при ТООЗ
5.4. Свойства вертикального электронного транспорта в МНС
аЗУЗЮ2, аЗУ2Юх и аЗУаСе. Вольтамперные характеристики
5.4.1. Область слабых полей.
5.4.2. Область сильных полей
5.5. Фотолюминесценция в МНС на основе а
5.6. ВЫВОДЫ
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ.
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922